<delect id="yyaaw"></delect>
FC-3800和FC-4400是適用于潔凈室的、真空鎖結構的系統，專門面向lift-off工藝的大生產應用。這些鍍膜機為連續高效的運行而設計，并提供高均勻性的薄膜沉積。FC-3800的源基間距為34”（965mm），而FC-4400的源基間距為42”（1067mm）。這兩款系統都可配置成獨立機臺或穿墻式潔凈室安裝，也都支持鍍膜源、材料進給、加熱、清洗等附件的各種組合。